服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
03
2026-01
星期 六
-
上海mems皮拉尼真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应
MEMS电容真空计在多个领域有着广泛的应用，包括但不限于：半导体制造：在半导体制造过程中，MEMS电容真空计用于监测真空度，确保气氛纯净并排除杂质，从而提高芯片的质量和可靠性。真空冶金：在真空冶金领域，MEMS电容真空计用于确保加
-
03
2026-01
星期 六
-
上海mems电容真空计设备厂家 上海辰仪测量技术供应
真空计相关知识：真空计的通信接口现代真空计标配RS485/Modbus协议，**型号支持EtherCAT（延迟<1μs）。数字输出可减少模拟信号噪声，如电离规的离子电流低至10⁻¹²A。物联网型真空计集成自诊断功能（如INF
-
03
2026-01
星期 六
-
上海高纯度真空计公司 上海辰仪测量技术供应
热阴极电离真空计（Bayard-Alpert计）通过加热阴极（铱合金或氧化钇涂层钨丝）发射电子，电子撞击气体分子产生离子，离子电流与压力成正比。量程10⁻¹~10⁻⁸Pa，精度±20%。需避免氧气环境导致阴极氧化，且高压（>
-
03
2026-01
星期 六
-
上海大气压真空计设备厂家 上海辰仪测量技术供应
陶瓷真空计是一种用于测量真空系统中压力的仪器，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域。其部件由陶瓷材料制成，具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好等优点。选型与使用量程选择：根据测量需求选择合适的量程。环境适应性：考虑温度、腐蚀性
-
02
2026-01
星期 五
-
上海高精度真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
推荐资讯