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2026-01

星期 五

上海陶瓷真空计供应商 上海辰仪测量技术供应

3.电离真空计电离真空计通过电离气体分子来测量压力,适用于高真空和超高真空范围。(1)热阴极电离真空计原理:利用热阴极发射电子电离气体分子,通过离子电流测量压力。测量范围:10⁻¹⁰Torr到10⁻³Torr。优点:精度高、测量范

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2026-01

星期 五

上海mems皮拉尼真空计供应商 上海辰仪测量技术供应

真空计与气体脱附效应材料放气(如橡胶释出H₂O)会导致测量值虚高。解决措施:①选用低放气材料(Viton替代橡胶);②烘烤(150℃可加速脱附);③分离测量(将规管安装在抽气口远端)。超高真空系统放气率需<10⁻¹⁰Pa·m

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2026-01

星期 五

上海mems电容真空计供应商 上海辰仪测量技术供应

四极质谱仪(残余气体分析仪)通过质荷比(m/z)分析气体成分,结合离子流强度定量分压。质量范围1~300amu,检测限10⁻¹²Pa。需配合电离规使用,用于真空系统污染诊断(如检出H₂O峰提示漏气)。动态模式可实时监控工艺气体(如

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2026-01

星期 五

上海mems电容真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应

1.机械式真空计机械式真空计通过物理形变或液柱高度差来测量压力,适用于粗真空和低真空范围。(1)U型管压力计原理:利用液柱(如水或汞)的高度差测量压力。测量范围:通常为大气压到约1Torr(133Pa)。优点:结构简单、成本低。缺

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星期 五

上海大气压真空计公司 上海辰仪测量技术供应

真空计的现代发展技术进步:随着半导体和微机电系统(MEMS)技术的不断进步,真空计的精度和稳定性得到了提升,推动了新一代高性能真空计的研发和应用。智能化:现代真空计越来越多地集成了智能化功能,能够实时监测、分析和反馈数据,提高了用

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